半导体产业是信息技术产业的核心，MEMS作为半导体产业重要组成部分，被广泛应用于各类高新技术当中。为加快MEMS产业向“高端化、链条化、集群化”跃升，山东自贸试验区烟台片区聚焦产业链生态圈创新，全面实施建链延链补链强链工程，打造中国北方最具特色的MEMS产业高地。一是双轮驱动，放大旗舰型企业引领。打造以全省首家科创板企业睿创微纳为龙头布局烟台光电传感产业园、全省首个省级微纳制造业创新中心，通过“双引擎”驱动MEMS产业率先破局、快速起势。目前，烟台光电传感产业园入驻齐新半导体等产业链优势企业，微纳制造业创新中心突破国家重点研发计划9项关键共性技术，“500Pa微压传感器”等技术将实现进口替代。二是沿链布点，培育梯度发展矩阵。产业链上游，丰富高端原材料供给。目前，光刻胶、电子气体乙硅烷等产品打破国外垄断，万华电子材料产业园一期项目年可实现CMP Pad 10万片、 CMP Slurry 3000吨。产业链中游，培育壮大骨干企业。目前，正在打造全国首个第三代功率半导体全链条IDM园区，一期已建成，全部完工后年可实现产值150亿元。产业链下游，完善技术应用场景。形成以富士康为龙头引领，艾睿光电、国兴智能等骨干企业为支撑的多维市场体系，在工业机器人、消费电子、汽车等领域发展迅猛。三是横向协同，构建完备产业生态圈。实施产业链“靶向”招商工程，2023年力争引进硅基雷达芯片、AI声学监测产业化等产业链企业10个以上。实施“产业链科技协同创新工程”，加大资金扶持力度，加快建设面向全国的智能传感器公共服务平台、三大关键共性技术和成果转化平台，全面构建产业链创新策源体系。目前，已培育睿创微纳等20多家骨干企业、3家上市公司，2022年实现MEMS及其关联产值近70亿元、同比增长20%。